四川光（guāng）刻机是诸多当（dāng）代技能高度（dù）集成的产物， 这些技能是：物理（lǐ）学，光学，化学，质料科学，精密呆板，精密控制，工程学等等。

在过往的20几年中，光刻机作为半导体（tǐ）制造业的紧张配置（zhì），经（jīng）历了（le）许多次革（gé）命。这些变革是陪伴着微处理惩罚器和DRAM特（tè）征尺寸的不停缩减（jiǎn）产生的演变。 由于光刻的辨别率与曝光波长、物（wù）镜光阑孔径的干系为：辨别率=K1λ/NA以是光（guāng）刻（kè）机的革命紧（jǐn）张产生在这样几个方（fāng）面[2-8]：大（dà）NA非球面镜光学体系，短波长光源，辨别率（lǜ）增强技能(低沉K1因子)，同步扫（sǎo）描工件台等。

在过往的20几年中（zhōng），光（guāng）刻机作为半导体制造业的紧张配置，经历了许多次革命（mìng）。这些（xiē）变革是陪伴着微处理惩罚器（qì）和DRAM特征尺寸的不停缩减产生的演变。 由于光刻（kè）的（de）辨（biàn）别率（lǜ）与曝光波（bō）长、物镜光阑孔径的干系为：辨别率=K1λ/NA以是光刻机的革命紧张产生在这样几个方面[2-8]：大（dà）NA非（fēi）球面镜光学体系，短波长（zhǎng）光（guāng）源，辨别率增强技能(低沉K1因子)，同步扫描工件台等。

光刻机螺纹隔爆结构有何规（guī）定

在环境实验箱维修中不经（jīng）常拆卸（xiè）的部分可以使用螺纹隔爆结构. 从氢气（qì）、乙炔一空气混合物的爆（bào）炸试验结果看，螺纹隔爆结构是*好的静止隔（gé）爆结构。例如:在矿用隔爆型移动变电站的高、低压接线盒中，套管（guǎn）与接线座、接线座与出线盒法兰之间均为螺纹（wén）隔爆结构.

采用（yòng）螺纹（wén）隔爆（bào）结构时，必须**同种零件间的（de）互换性，还必须符合（hé）下列规定:

1.螺（luó）纹精度须不（bú）低于3级，螺（luó）距须不小于0.7mm;

2.螺纹的*少啮合扣数、*小拧入深（shēn）度，须符（fú）合规定;

3.螺纹结构须有防止自行（háng）松（sōng）脱的措施.

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