序號

用 戶

設備名稱

1

清華大學材料學院

高精密單麵光刻機

2

北京（jīng）大學化學院

高精密單麵光刻機

3

上海複旦大（dà）學微電子學係

高精密雙麵光（guāng）刻機

4

福州大學

高精密（mì）雙麵（miàn）光刻機

5

北京航空航天大學

高精密單麵光刻機

6

吉林大學化學係

高精（jīng）密單麵光（guāng）刻機（jī）

7

四（sì）川大學（xué）材料學（xué）院

高精密單麵光刻機

8

南開大學

高精密雙麵光刻機

9

西安科技大學

高精密（mì）單麵光刻機

10

浙江理工（gōng）大學

高精密單麵光刻機

11

浙江大（dà）學（xué）

高精密單麵光刻機

12

四川（chuān）大學物理科學與技術（shù）學院

高精密雙麵光刻機

13

成都理工大學

高精密單麵光刻機

14

電子（zǐ）科（kē）技大（dà）學電子薄膜與（yǔ）集成器件（jiàn）

**重點實（shí）驗（yàn）室

高精密單（dān）麵光刻機

15

貴州大學

高精密單麵光刻機（jī）

16

天津理工大學

高精密單麵光刻機

17

湖北大學物電學院

高精密單麵光刻機

18

湖北理工（gōng）大（dà）學

高精密單麵（miàn）光刻機

19

重慶醫科大學檢驗學院

高精密（mì）單麵光刻機

20

南京大學介觀化學實（shí）驗室

高精密（mì）單（dān）麵（miàn）光刻機

21

北京大學深圳研（yán）究院

高精（jīng）密雙麵光刻（kè）機

22

重慶師（shī）範大學

高精密單麵光刻機

23

安徽（huī）合肥（féi）科技大學

高精密單麵光刻機

24

北京化工大學

高精密（mì）單麵光刻機

25

武漢大學

高（gāo）精密單麵光刻機

26

武漢理工大學（xué）

高精密單麵光刻機

27

華（huá）中科（kē）技大學

高精（jīng）密單麵（miàn）光刻機

28

華中農業大學理學院

高精密單麵光刻機

29

河北工業大學

高精密雙麵光刻機

30

廣州暨南大學

高精密單麵光刻機

31

湘潭大學

高精（jīng）密單麵光刻機

32

中山大學

高精密單麵光刻機

33

溫州醫科大學

高（gāo）精密單（dān）麵光刻機

34

東莞同濟（jì）大學（xué）研究院

高精密雙麵光刻機

35

雲南大學

高精密（mì）單麵光刻機

36

天水天光半導體有限責任公司

高精密單麵光刻機

37

蘇州一光（guāng）儀器有限公司

高精密單麵光刻機

38

深圳市（shì）朗宏電子有限公司（台資公司）

高精密單（dān）麵光刻機（jī）

39

上海賀鴻電子有限公司（上市公司）

高精密（mì）雙麵光刻機

40

中核（hé）建中核燃料元（yuán）件有限公司

高精密雙麵光刻機

41

中國航天科技集團公司川南機械廠

高精密單麵光刻機

42

深圳新飛通光電技（jì）術（shù）有限公司

高精密（mì）單麵（miàn）光刻機

43

南（nán）京百花（huā）光（guāng）電有限公司

(兵器工業部所屬企業)

高精（jīng）密（mì）單麵光刻機（jī）

44

長沙韶普鉻版有限公（gōng）司

高精密單麵光刻（kè）機

45

長沙韶光（guāng）鉻版有限公司

高精密單麵（miàn）光刻機

46

深圳（zhèn）市鵬宇光（guāng）電有限公司（sī）

高精密單麵（miàn）光刻（kè）機（jī）

47

深圳市路維電子（zǐ）有限公司

高精密單麵光刻機

48

北京大恒新紀元科技股份有（yǒu）限公司

高（gāo）精密單麵光刻機

49

江蘇森尼克電子科技有限公司

（中外合資企業）

高精密雙（shuāng）麵（miàn）光刻機

50

北京中航興盛測控技術有限公司

高精密單（dān）麵光（guāng）刻機

51

西隴科學股份有限公司（上市公司）

高精密雙麵光刻（kè）機

52

深圳市朗宏電子（zǐ）有限公司（台資公（gōng）司）

高精密雙麵光刻機

53

濟南力（lì）冠電子（zǐ）科技有限公司

高精密雙麵光刻機

54

麥科勒（滁（chú）州）新材料科（kē）技有限公（gōng）司

（中外合資企業）

高（gāo）精密雙麵光（guāng）刻機

55

深（shēn）圳市中（zhōng）天超硬工具股份有（yǒu）限公司

（上市公司）

高精密雙麵光刻機

56

中兵航聯西南分公司

(兵器工業部所屬企業)

高精密雙麵光刻機

57

昆明銀密光學科技有限公司

高精密單麵光刻（kè）機

58

廣東海特創業投資有限（xiàn）公司

高精密雙麵光刻機

59

武漢三衫科（kē）技有限公司

高精密單麵光刻機

60

浙江波得光電（diàn）科技（jì）有限公司

高精密單麵光刻機

61

天津瑞泰科生物科技有限公司

高精密單麵光刻機

62

北京韋思通科技有限公司

高（gāo）精密單（dān）麵光刻機

63

貴州皓天光電科技有限（xiàn）公司

高（gāo）精（jīng）密雙麵光刻（kè）機

64

武漢市農業科學院環境與安全研（yán）究所

高精密雙麵光刻機

65

上海空間電（diàn）源研（yán）究所

高精密雙麵光刻機

66

中國電子（zǐ）科技集團公司第四十一研究所

高（gāo）精密單（dān）麵（miàn）光刻機

67

中國電子科技集團公司第四十四研究所

高精密雙麵光（guāng）刻機

68

中國工程物理研究院2所

高精密雙麵光刻機

69

中國科學院物理研究所

高精（jīng）密單麵光刻機

70

航天科工集團（tuán）二院第25研究所

高精密雙麵光刻機

71

中國科學院長春光學精密機械研究所

高精密單麵光刻機

72

中國科（kē）學院半導體研究所

高精密單（dān）麵（miàn）光刻機

73

航天材料及工（gōng）藝研究（jiū）所

高精密雙麵光刻機

74

中國科學院武漢物理數學研究所

高精密單麵光刻機