成都精密光（guāng）刻機的主要用途和主要性能指標：

1、 主（zhǔ）要用（yòng）途：

（1） 這是（shì）一台雙麵對準單（dān）麵曝光的光刻機；

（2） 這台機（jī）器又能完成普通光（guāng）刻機的任（rèn）何工作；

（3） 同時又是一台檢查雙麵對準精度的檢查儀。

2、 主要性能指標：

（1） 高均勻性蠅眼曝光頭。

a、 采用350W直流（liú）球形汞燈；

b、 出射（shè）光斑≤φ116mm；

c、 光強≤15mw；

d、 光的不均勻性≤±3%；

e、 光強度可通過光闌或汞燈電流調節，3～15mw任意調（diào）節；

f、 曝光時間（jiān）采用0～999.9秒（日本OMRON生產）時（shí）間繼電（diàn）器控製。

g、 對（duì）準精（jīng）度：±0.5μm

h、 套刻精（jīng）度：1μm

（2） 觀（guān）察（chá）係（xì）統為上下各（gè）兩（liǎng）個（gè）無級變倍、高分辨率單筒顯微鏡上裝四（sì）個CCD攝像頭（tóu）通過視屏線連接計算機到19″高清液晶顯視屏上。

a、 單筒顯微鏡為0.7X～4.5X連續變倍顯微鏡（jìng）；

b、 CCD攝像機靶麵對角（jiǎo）線尺寸為：1/3″,6mm；

c、 采用19″液晶監視器，其數字放（fàng）大倍率為17×25.4/6=72倍；

d、 觀察係統放大倍數為：0.7×72=50.4倍（*小倍數）

4.5×72=324倍（*大倍數）；

e、右（yòu）表板上有一視屏轉換開關：向左為下二個CCD，向右為上（shàng）二個（gè）CCD。

（3）計算機硬軟件係統：

a、鼠標單（dān）擊（jī）“開始對（duì）準”，能（néng）將監視屏上的圖形記憶下來，並處理成透（tòu）明的，以（yǐ）便對新進入的圖形進行對準；

b、鼠標雙擊左麵或右麵圖形，就分別全屏顯示左或右麵圖形。

（4）非常特殊的（de）板架裝置：

a、該裝置（zhì）能分別裝入100×100板架或125×125板架（jià），對版進行（háng）真空吸附；

b、該裝置安（ān）裝（zhuāng）在機座上，能圍繞A點（diǎn）作翻轉運動，相對於承片台而言作上下翻轉運動（dòng），以（yǐ）便於上（shàng）下版和上下（xià）片；

c、該裝置來回反複翻（fān）轉，回到承片台上平麵的位（wèi）置，重複精度為≤±1.5μ；

d、該裝置具有補償基片楔形誤差之功能，**版下平麵與片上（shàng）平（píng）麵之良好接觸，以便提高曝光質量。

（5）承片台調整（zhěng）裝置：

a、 配（pèi）備有Φ75、Φ100承片台各一個，這二種承片台有（yǒu）二個長方孔，下麵二個CCD通過該孔能觀察到版或片的下平麵；

b、 承片台能作X、Y、Z、θ運動，X、Y、Z可作±5mm運動，θ運動為±5°；

c、 承片台（tái）密著環相對於（yú）版，能實現“真空密著”：

真空密著（zhe）力≤-0.05Mpa為（wéi）硬接觸；

真空密著力≤-0.05Mpa～-0.02Mpa為軟（ruǎn）接觸；

真空密著力≤-0.02Mpa為微力（lì）接觸（chù）；

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