成都鑫南光(guāng)機械設備有限公司(sī)帶大家一起來看一下成都真(zhēn)空鍍膜(mó)機(jī)的參(cān)數:
一、真空鍍膜機主要用(yòng)途:
供製備薄(báo)膜無源(yuán)微型元件。
二、主要(yào)技術指標:
1. 蒸發室極限真空度: 4×10-4Pa
2. 蒸發室恢複4×10-3Pa的時間: ≤15min
3. 基(jī)片旋(xuán)轉架的轉速(sù): 0~60n/min
4. 基片烘烤溫度: 室溫~350℃
5. 蒸發電極數量: 3對(duì)
6. 蒸發電極參數(shù): 0~10伏 0~300A
7. 離子轟擊參數: 0~3000伏 0~200mA
8. 鍾罩容積: Φ500×620(mm)
9. 需要動力: 電力 10KW
10. 外形尺寸: 1300×830×1720(mm)
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